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潔凈厭氧高溫氣氛爐 C1-008

發(fā)布時(shí)間:2020-02-01 17:22:02瀏覽次數(shù):
用途:光刻工藝后段,光刻膠固化

特點(diǎn)
•最高工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度20ppm以下。
•程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能,有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式。
•快速升溫、降溫,降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。
•配置了自動(dòng)門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等。
•全不銹鋼材質(zhì)。
•在安全方面,配置了自動(dòng)過(guò)升防止、過(guò)升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ惓!⒌獨(dú)饬髁慨惓!⑦^(guò)電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置。

技術(shù)規(guī)格


型號(hào)

潔凈厭氧高溫氣氛爐 C1-008   

溫度范圍

室溫+30360

室溫+50500

溫度分布精度

±4.0℃(at 360℃)    

±8.0℃(a500℃)

溫度上升時(shí)間

60min(室溫→360℃)      

90min(室溫→500℃)

溫度下降時(shí)間

90min360℃→50℃)     

120min500℃→50℃)

氧濃度

20ppm以下  

氧濃度下降時(shí)間

45分鐘  

潔凈度

100級(jí)

裝備

氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸

W600×D600×H600mm    

電源

3AC380V

 



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