針對(duì)有機(jī)/無(wú)機(jī)鍍膜工藝研究的需要開(kāi)發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測(cè)中的定制化開(kāi)發(fā)，可通過(guò)橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量，橢偏測(cè)量頭快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析

一、概述
SE-i是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對(duì)有機(jī)/無(wú)機(jī)鍍膜工藝研究的需要開(kāi)發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測(cè)中的定制化開(kāi)發(fā)，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。

二、測(cè)試案例

成膜工藝監(jiān)控

膜厚表征

三、產(chǎn)品應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無(wú)機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過(guò)程中實(shí)際原位在線監(jiān)測(cè)并實(shí)時(shí)反饋測(cè)量物性數(shù)據(jù)。