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等離子清洗機 YSP63FA

發布時間：2020-02-21 12:45:38瀏覽次數：次
可進行樣品傳輸系統定制
●  操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
●  軟性基板也可以進行傳送操作。
●  傳送速度可在Hi-Low間調節。
●  可通過網絡進行遠程操作（選購品）。

規格 

型號

YSP63FA

模式

RIE（DP模式選購）

高頻輸功率

600W

反應臺尺寸

W385×D362mm

內腔尺寸

W395×D378×H45mm（內尺寸）

反應氣體

2進氣系統（氧氣、氬氣）

反應氣體流量控制

質量流量控制器

真空泵

旋轉式真空泵（約500L/min）

氣體導入口

反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm

　地址：上海市浦東新區曹路鎮金海路2588號　備案號：滬ICP備19046444號-1　

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