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等離子清洗機 YSP600U/2KU

發布時間：2020-02-21 12:51:04瀏覽次數：次
樣品傳輸系統為模塊式，便于組合
用途
●  提高各種材料的粘接性、表面改質處理
●  清洗各類基板。
●  電子部品、材料表面改質。
●  去除有機物和自然氧化膜。

特點
●  體積小，節省空間。
●  選用小型腔體，反應效率高。
●  更容易嵌入生產線使用。
●  可通過操作面板自由切換等離子模式。
●  配備冷卻反應臺。

內槽


技術規格

型號

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE（DP模式選購）

高頻輸功率

600W

2000W

反應臺尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反應氣體

2進氣系統（氧氣、氬氣）

反應氣體流量控制

質量流量控制器

氣體導入口

反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個


　地址：上海市浦東新區曹路鎮金海路2588號　備案號：滬ICP備19046444號-1　

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